《電子工業(yè)用四氯化硅》（GB/T38867-2020）【全文附PDF版下載】

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標準號：GB/T38867-2020

中文標準名稱(chēng)：電子工業(yè)用四氯化硅

英文標準名稱(chēng)：Silicon tetrachloride for electronic industry

中國標準分類(lèi)號（CCS） G86 國際標準分類(lèi)號（ICS） 71.100.20

發(fā)布日期 2020-07-21 實(shí)施日期 2021-02-01

主管部門(mén) 國家標準化管理委員會(huì ) 歸口單位 全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會(huì )

發(fā)布單位 國家市場(chǎng)監督管理總局、中國國家標準化管理委員會(huì )

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